上海微技術(shù)工業(yè)研究院（SITRI）成立于2013年，由上海市科學(xué)技術(shù)委員會(huì)、嘉定區(qū)政府和中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所發(fā)起成立，是集研發(fā)、工程、產(chǎn)業(yè)化及培育于一體的研發(fā)與轉(zhuǎn)化功能型平臺(tái)，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供深度工藝技術(shù)支持和服務(wù)。SITRI在上海聯(lián)和投資有限公司服務(wù)國(guó)家戰(zhàn)略、做科創(chuàng)發(fā)展先行者排頭兵戰(zhàn)略使命的指導(dǎo)下，依托中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)所“三位一體”創(chuàng)新架構(gòu)模式建立，通過上海微系統(tǒng)所技術(shù)力量的支撐以及上海新微科技集團(tuán)投資運(yùn)營(yíng)模式的支持，與國(guó)內(nèi)外眾多的產(chǎn)、學(xué)、研組織建立了緊密的合作關(guān)系，實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新成果的高效率產(chǎn)業(yè)化，加速“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)建立。



SITRI擁有全國(guó)首條8英寸“超越摩爾”（More than Moore）研發(fā)中試線，提供MEMS、硅光、生物芯片等“超越摩爾”核心工藝技術(shù)，為設(shè)計(jì)、裝備和材料等半導(dǎo)體公司提供高效的研發(fā)、中試和驗(yàn)證服務(wù)，實(shí)現(xiàn)從研發(fā)到小批量生產(chǎn)無(wú)縫對(duì)接。


截至目前，SITRI已累計(jì)申請(qǐng)專利866項(xiàng)，發(fā)明專利686項(xiàng)，其中PCT（國(guó)際專利）專利55項(xiàng)。



SITRI立足上海、面向長(zhǎng)三角、輻射全國(guó)，已初步形成“超越摩爾”領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系。